注目の誘電体セラミックス材料(2)  強誘電体薄膜の合成とデバイス開発
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注目の誘電体セラミックス材料(2)  強誘電体薄膜の合成とデバイス開発

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注目の誘電体セラミックス材料(2)  強誘電体薄膜の合成とデバイス開発   本体価格30,000円(税別) B5版 750頁   2014年5月10日 第1版第1刷発行  誘電体は電界,温度,圧力,光,不純物などに対してそれぞれ分極履歴現象,焦電性,圧電性,電気光学性,半導体性などの現象を生じますが,原子,分子レベルでの精緻な構造設計によって単結晶やセラミックスのようなバルクでは実現できない優れた機能が発現します.  強誘電体薄膜は,半導体工学をベースに薄膜における原子層積層制御,クラスター変調分布制御,ナノ構造傾斜制御などに人工超格子薄膜ナノプロセスを適用することにより,次世代の人工材料創製のための研究が活発です. DRAM(Dynamic Random Access Memory),キャパシタ,不揮発性メモリー(Ferroelectric Random Access Memory:FRAM),マイクロピエゾアクチュエータ,(Micro piezo-actuator), 弾性表面波(Surface Acoustic Wave Device), 光変調器,光導波路,光偏向素子やパイロセンサ等への応用が進められているところです.  そこで, マテリアルインテグレーション誌に掲載された強誘電体薄膜の作製や応用に関する記事を編集し再録いたしました.また,最近,強誘電性と(反)強磁性の両方を合わせ持つ物質示す物質がとして多値記録メモリのような新規デバイスの可能性や,新しい現象の発現の可能性が期待され,注目を集めていることからマルチフェロイックスの章も設けました. 執筆者一覧(50音順)肩書は執筆当時 縫田 知宏 東京大学大学院理学系研究科化学専攻 助教 東 正樹   京都大学化学研究所 有馬 孝尚 東北大学多元物質科学研究所 無機材料研究部門 強相関固体物性研究分野 安藤 静敏 東京理科大学 理学部 応用物理学科 助手 飯島 高志 東北工業技術研究所 主任研究官 石河 睦生 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物質科学創造専攻 石沢 伸夫 東京工業大学工業材料研究所 助教授 石原 宏 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 教授 市川 能也 京都大学化学研究所 上田 一朗 松下電器産業(株)中央研究所部品材料基礎研究所 大越 慎一 東京大学大学院理学系研究科化学専攻 教授 太田  淳 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 岡田 秀哉 林化学工業(株) 岡村 総一郎 東京理科大学 理学部第一部応用物理学科 岡本  進 林化学工業(株) 小口 多美夫 広島大学大学院 先端物質科学研究科 奥山 雅則 大阪大学基礎工学部電気工学科 教授 尾崎 友厚 大阪府立大学・大学院工学研究科 小野瀬 佳文 東京大学工学系研究科,ERATOマルチフェロイクスプロジェクト 賀集 誠一郎 UFPプロセス開発室 嘱託 加藤 一実 産業技術総合研究所セラミックス研究部門 テーラードリキッドソース研究グループ 川崎 雅司 東京工業大学 工業材料研究所 助手 喜多川 修次 村田製作所・解析センタ 北中 佑樹 東京大学先端科学技術研究センター 木村 剛 大阪大学大学院基礎工学研究科 黒田 和夫 東京大学生産技術研究所第1部 桑野 幸徳 三洋電機(株)機能材料研究所 所長 木口 賢紀 東京工業大学 総合分析支援センター 坂田 雅一 三洋電機(株)機能材料研究所新材料研究室 坂本 渉   名古屋大学大学院工学研究科 応用化学専攻 佐々木 孝友 大阪大学工学部電気工学教室 塩嵜 忠   奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授 篠崎 和夫 東京工業大学 大学院理工学研究科 材料工学専攻 島 宏美 東京理科大学大学院 理学研究科物理学専攻 島川 祐一 京都大学化学研究所 清水 勝 姫路工業大学 工学部 電子工学科 助教授 菅井 弘 (財)電気磁気材料研究所 主任研究員 鈴木 一行 産業技術総合研究所セラミックス研究部門 テーラードリキッドソース研究グループ 高田 雅介 長岡技術科学大学 工学部 電気系 教授 高田 光裕 住友特殊金属(株)開発本部 主席研究員 高橋 芳行 東京理科大学 理学部化学科 助手 高山 良一 松下電器産業(株)中央研究所薄膜研究グループ チームリーダ 田中 省作 鳥取大学工学部電気電子工学科 教授 田中 克 NHK放送技術研究所 材料・デバイス 千島 悠司 東京大学先端科学技術研究センター 塚本 桓世 東京理科大学 理学部 応用物理学科 教授 土谷 敏雄 東京理科大学 基礎工学部 材料工学科 教授 峠 登 近畿大学 理工学部 金属工学科 教授 徳田  崇 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 十倉 好紀 東京大学工学系研究科,ERATOマルチフェロイクスプロジェクト 所 裕子 東京大学大学院理学系研究科・科学技術振興機構さきがけ研究員 斗内 政吉 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター 教授  (南京大学 兼任教授) 豊田 幸夫 住友特殊金属(株)開発本部 鳥居 保良 名古屋工業技術試験所セラミックス基礎部機能材料課 課長 中嶋 誠二 大阪大学大学院基礎工学研究科 長森 喜孝 林化学工業(株) 西尾 圭史 東京理科大学 基礎工学部 材料工学科 助手 西澤 かおり 産業技術総合研究所セラミックス研究部門 テーラードリキッドソース研究グループ 西田 貴司 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 布下 正宏 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 野口 祐二 東京大学先端科学技術研究センター 浜川 圭弘 大阪大学基礎工学部電気工学科 教授 濱上 寿一 東京都立大学大学院 工学研究科 工業化学専攻 助手 林  邦彦 林化学工業(株 平野 眞一 名古屋大学大学院工学研究科 応用化学専攻 藤井 英治 松下電子工業(株)技術本部 電子総合研究所 機能LSI研究部 室長 藤田 成隆 八戸工業大学 藤村 紀文 大阪府立大学大学院 工学研究科 舟窪 浩 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物質科学創造専攻 古川 猛夫 東京理科大学 理学部化学科 教授 前岡 敏彰 林化学工業(株) 増田 陽一郎 八戸工業大学 工学部 教授 増本 博 東北大学 金属材料研究所 助教授 松田 元秀 岡山大学 環境理工学部 環境物質工学科 助教授 松本 泰道 熊本大学工学部 教授 丸山 研二 (株)富士通研究所 シリコンテクノロジ開発研究所 三木 健 産業技術総合研究所セラミックス研究部門 テーラードリキッドソース研究グループ 水谷 惟恭 東京高等専門学校 美原 康雄 UFPプロセス開発室 専門部長 宮崎 保光 豊橋技術科学大学工学部情報工学系 教授 宮澤 信太郎 日本電信電話(株)LSI研究所宮澤特別研究室 室長 宮山 勝 東京大学先端科学技術研究センター 村上 春彦 スズキ(株)技術研究所 研究員 森 茂生 大阪府立大学・大学院工学研究科 安井 伸太郎 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物質科学創造専攻 山下 仁大 東京都立大学大学院 工学研究科 工業化学専攻 助教授 山田 智明 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物質科学創造専攻 山道 新太郎 NEC ULSIデバイス開発研究所 余語 利信 名古屋大学大学院工学研究科 応用化学専攻 横尾 俊信 京都大学 化学研究所 吉村 武 大阪府立大学大学院 工学研究科 吉村 昌弘 東京工業大学 応用セラミックス研究所 教授 脇谷 尚樹 東京工業大学 大学院理工学研究科 材料工学専攻 符 徳勝 産業技術総合研究所セラミックス研究部門 テーラードリキッドソース研究グループ