無機有機複合膜センサ 通常価格(税込)： 46,200 円 販売価格(税込)： 46,200 円 特許集 特許シリーズ　NO.1009 無機有機複合膜センサ A4版　複写製本　公開特許　約51件　1994年12月発行　 刊行主旨 ■センサの信頼性向上のための保護膜をはじめ, センシングでの高度の信号処理のために駆動電圧の低下や, 他素子との結合の容易さが求められるようになり, 機能部分を薄膜化することでこの問題を解決するなど, センサでの薄膜の応用が広がっています. なかでも, センサ機能の高い無機物と, 薄膜化の容易な有機物とを各種成膜技術を駆使して積層・複合膜を構成させ, 高性能センサを得る特許が数多く公開されるようになってきました. ■ここに紹介します資料は,約5年間の公開特許から, 蒸着, スパッタ, LB膜などの方法により無機有機複合膜を構成してセンサに応用するものを選び, それらを分類整理し技術動向や各社の取り組みについて解説を試みるとともに、明細書の全文を複写し、集録しました. Contents ■ガスセンサ 1.湿度センサ ・湿度センサ ・薄膜感湿素子 ・湿度センサの製造方法 ・有機高分子薄膜湿度センサ ・感湿素子 ・温度・湿度センサー 2.酸素センサ ・酸素センサ及び溶存酸素濃度の測定方法 ・修飾電極及びその製造方法 ・ガルバニ電池式酸素センサ 3.その他 ・電気化学式ガスセンサ素子の製法 ・電気抵抗検出形ガスセンサ及び光検出形ガスセンサ ・アンモニアガスセンサ ・NOx用ガスセンサ ・化学センサ ・ガス感応素子 ・化学吸着膜形成方法 ■イオンセンサ 1.イオン選択性電界効果トランジスタ ・イオンセンサ及びセンサプレート ・電解重合膜を備えた電極の製造方法及び該電極を備えたイオンセンサの製法 ・電解酸化重合膜及び該電解酸化重合膜を用いた膜被服センサ ・フェロセノイル誘導体の製造方法 ・化学的センサ用の基準電極 2 オプティカルイオンセンサ ・光センサー ・イオンセンサ及びこれを用いるイオン 濃度測定方法及び装置 ・ラングミュアーブロジェット膜を用いたオプティカルイオンセンサ ・オプティカルイオンセンサー ■バイオセンサ 1 免疫センサ ・免疫センサ用作用膜 ・プロテインA分子膜により抗体タンパク質を固化する方法及び抗体固定膜 ・光学的バイオセンサー 2 酵素センサ ・バイオセンサ及びその製法 ・バイオセンサー ・バイオセンサ ・オプティカルセンサー 3 その他 ・ジ( ω-アルケニル) ジシラザン化合物ω-アルケニルシラン化合物 ・配向性タンパク質薄膜の作製方法 ・イオンセンサー ■光センサ ・光センサの光電変換薄膜 ・光電変換薄膜 ・光電変換素子 ■温度センサ ・白金薄膜温度センサ ・薄膜温度センサ ・薄膜白金温度センサ ・温度センサー ・温度センサー ■その他 ・熱式流量センサ ・感熱形流量センサの製造方法 ・ロードセル ・ロードセル及びその製造方法 ・匂いセンサ ・匂いセンサ ・味覚センサ及びその製造方法 センサ